物镜偏心测试技术及装置是高精度物镜装配技术的核心之一,为了提高我国在此技术领域的技术水平,2012年5月8日至15日,科技部中白联合国际合作项目“高端光刻机偏振照明关键技术联合研究”的子课题“高精度无应力光机结构设计与装配平台研发”技术研讨会在长春光机所应用光学国家重点实验室召开,白俄罗斯KBTEM-OMO公司、长春光机所、上海光机所、成都光电所与北京光电院的相关技术专家参加了本次会议。
本次研讨会重点开展了高精度装调平台概念设计及设计指标分析确定研讨,双方专家就白方所作的“高精度装配平台的工作原理与应用”、“装配平台概念设计”与长光所方所作的“0.2微米定心装配平台初始设计指标分析及确定”三个技术报告进行了深入的交流和详细的讨论。通过交流和讨论,双方明确了在高精度装调平台研发项目中的任务分工与光机电接口关系,确认了关键的光机电技术指标,并制订了双发下一步的研究内容和工作计划。此外,白俄罗斯专家还参观了应用光学国家重点实验室及长光博物馆等设施和展馆。
经过共同努力,中白双方最终签署了会议备忘录,本次研讨会圆满完成。