长春光机所承担的国家科技重大专项项目“极紫外光刻关键技术研究”顺利通过验收
2017年6月21日, “极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项( 02专项)实施管理办公室组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会。评审专家组充分肯定了项目取得的一系列成果,一致同意项目通过验收,认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。长春光机所作为牵头单位承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究工作,成员包括中国科学院光电技术研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学。验收会专家合影。
2017-07-04