2025年3月13日，中国科学院科技基础能力局组织专家在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所对中国科学院科研仪器设备研制项目“基于室温‘零漂移’扫描探针技术的原子尺度半导体电光特性表征仪器系统”进行了验收。中国科学院科技基础能力局科技条件处副处长陈代谢，长春光机所所务委员李光鑫、条件保障处处长吕宝林、所级中心办公室主任梁爽、财务管理处副处长王红锋参加了此次验收会

验收专家组由技术专家组和财务专家组组成，组长由中国科学院半导体所汪鹏飞研究员担任。经技术测试和财务审查后，专家组听取了项目工作报告，审议并修订了技术测试大纲，并现场核查了设备运行情况。经质询讨论后，验收专家组一致认为，项目组完成了项目实施方案规定的全部任务，达到了项目预期目标，项目通过验收。