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“面向先进光学制造装备的超精密测量技术”学术交流会成功举办
2024-12-06 质检中心 孙旺
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12月4日,华中科技大学刘世元教授一行五人受邀到长春光机所就“面向先进光学制造装备的超精密测量技术”进行学术交流。刘世元教授作为国家杰出青年科学基金获得者及科技创新领军人才、华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任,在计算成像、纳米测量以及集成电路检测等领域积累了丰富的研究成果与实践经验。

只有测量出来,才能制造出来。在高度复杂的生产流程中,超精密测量技术贯穿光学制造装备全产业链和全生命周期过程,是保障产品质量与精度的基石。会上,刘世元全面阐述了超精密测量在先进设备中的关键作用、具体要求以及面临的挑战,并分享了多项前沿的研究成果与实践案例, 包括用于实时动态反馈控制、周期性校正与标定、集成调试与诊断、工艺优化与良率控制等。

本次交流会的成功举办,为我所在先进光学制造装备研制等方面发展提供了一些潜在的思路和途径,为我所和华中科技大学的深化合作奠定了坚实基础。


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