1、 微光及多谱段成像仪
2021年11月5日，广目地球科学卫星在山西太原卫星发射中心发射升空。作为首颗专门服务联合国2030年可持续发展议程的科学卫星，本着“人无我有，人有我优”的设计原则，以“人类痕迹”精细刻画为主旨，为表征人与自然交互作用的可持续发展指标提供数据支持。长春光机所研制的微光及多谱段成像仪作为卫星上的有效载荷之一，主要任务是针对人为活动强烈区域，开展“能源消耗、人居格局、近海海岸环境”的精细探测。微光及多谱段成像仪创新的采用了小F数Cook-TMA离轴三反光学系统结合高灵敏度、高动态范围的微光成像器件，通过数字TDI成像模式，在保证信噪比的前提下有效提高了成像仪的探测性能和工作效率。成像仪可实现10m分辨率和300km幅宽的夜间微光成像，达到国际领先水平。
2、 大型高精度衍射光栅刻划系统
研制成功世界上综合技术指标最高的大型高精度衍射光栅刻划机，制作出 400mm×500mm 世界最大面积中阶梯光栅（美国为 316mm×408mm），达到国际领先水平。
大型衍射光栅刻划机工作台及刻划系统
大型衍射光栅刻划机分度系统
成果入选“中国科学院改革开放四十年40项标志性科技成
果”及“伟大的变革一庆祝改革开放40周年大型展览”
3、 宽禁带半导体点缺陷的单体光电特性表征仪器
国际首创：突破半导体材料体内微小结构的单体表征技术盲区，实现半导体体相点缺陷的单体关键物理参数全表征 (元素组成、成键结构、能级位置)。
集成针尖增强光谱的扫描隧道显微镜
半导体表面与近表面点缺陷单体控制生成与消除
原子分辨的针尖增强拉曼光谱技术
4、 1.5米扫描干涉场曝光系统
研制成功拥有制作最大面积650mm × 1700mm全息光栅能力的扫描干涉场曝光系统，打破了美国 PGL对此技术的长期垄断，标志着我国具备制作米级单体无拼缝全息光栅的能力。
1.5米扫描干涉场曝光系统
1400mm x 420mm全息光栅掩模
1400mm×420mm全息光栅掩模刻线误差
5、 NA0.75ArF深紫外光刻投影物镜
标志着我国高端光刻曝光光学系统成功打破国外技术垄断，引领我国超精密光学制造技术迈向世界最高水平。
曝光测试图像对比
6、 极紫外光刻关键技术
研制成功极紫外光刻原理曝光装置，国内首次获得 32nm 1:1 L/S 的曝光图形，研制成功LPP-EUV光源原理样机，转换效率指标远高任务书目标。
六镜样机系统平均波像差＜λ/35RMS LPP-EUV光源原理样机转换效率2.67%(任务书2%)
7、 AlGaN深紫外LED
实现从材料到芯片的全链条突破 ，成功研发出高性能深紫外 LED ，在杀菌消毒、医疗卫生、工业催化、安全通信等领域具有广阔应用前景。
8、 嫦娥三号极紫外相机首次从月球上观测到地球等离子体层完整图像
嫦娥三号在月球表面着陆实景
9、 “可持续发展科学卫星一号”微光及多谱段成像仪成功获得日间多谱段和微光图像
微光成像效果国际最优
